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V640系列

面向半导体行业的RFID系统

为工序管理提供 “ 高品质 ” 的安心

  • 全球市场占有率

  • RFID系统
    符合世界标准
    SEMI标准
*半导体制造装置中使用的本公司RFID。截至2018年3月本公司调查数据。

在半导体制造车间,RFID*广泛用于工序管理中

向CID载体读写信息

品质信息、工序指示信息、工序完
成信息、批次信息、检查结果等

工序进度、品质管理

根据从CID载体读取的信息
正确地把握和追踪工序进度

在如今的多品种少量生产中,要保障生产效率和品质,工序管理至关重要。其中最有效的手段之一,就是通过RFID方式,用CIDRW头从CID载体中读写每个FOUP的信息,把握并追踪工序进度,这已是一种世界标准。
RFID方式具有出色的读写可靠性和耐环境性,在生产效率的维持和耐清洗性需求较高的半导体制造车间,有广泛的应用。
* 利用Radio Frequency IDentification无线电的收发,以非接触的方式对IC芯片中的数据进行读写。

全球采购实际高

  • RFID系统 V640 系列

  • 全球TOP10的公司中有7家采用*

* 半导体制造装置中使用的本公司RFID。截至2018年3月本公司调查数据。

符合世界标准SEMI标准

  • 符合半导体行业的世界标准SEMI标准

    在半导体行业,各装置符合SEMI标准已经是采用条件之一,V640符合该SEMI标准。
    SEMI标准中,规定了工厂系统/半导体制造装置间的通信标准和RFID的安装位置等。

  • 15年以上的长期稳定供应记录

    使用通用性较高的部件进行设计,实现了超过15年的长期稳定供应。采用后也可放心使用。

通信规定

串行通信、通信协议、Ethernet通信

V640只需按照规定的安装位置、安装尺寸安装即可

出色的通性稳定性能

  • 抗CID载体的性能变化能力强

    使用134kHz的普通RFID系统受电气特性的影响,如果CID载体和CIDRW头过于接近,将无法通信。但是,V640应对CID载体的批次和个体差异能力强,即使CID载体和CIDRW头只距离2mm,也不会发生读取错误。

  • 抗外来干扰的能力强

    设计的频率接收灵敏度值能有效对抗周围的电气影
    响,不易受到OHT*1驱动干扰等的影响。

    抗周围金属影响的能力强

    夹具一体型,可方便地安装到用户装置的金属面上,
    将实际安装环境对读取性能的影响降到最低。

万一发生通信故障,亦可安心使用

  • 可使用网页浏览器进行远程确认和设定

    发生故障时,即使不进入制造车间,也可远程确认状态。只需指定本体的IP地址,无需专用软件,即可进行确认和各种设定。

  • 在现场只使用放大器单元即可进行通信测试

    只需将放大器单元的DIP开关拨到ON,即可以1秒为间隔自动执行与CID载体的通信,并通过动作指示灯(LED)显示通信结果。即使到了RFID的更换时间,无需将电脑带到制造车间,也可确认更换后的动作。

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